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游离碳对SiC 薄膜微观结构的影响

相似文献/References:

[1]王永杰,李贺军,付前刚,等.沉积位置对HfC涂层微观结构的影响[J].固体火箭技术,2013,(03):394.
[2]孙国栋,李贺军,付前刚,等.异形构件化学气相沉积SiC涂层的数值模拟[J].固体火箭技术,2017,40(02):232.[doi:10.7673/j.issn.1006-2793.2017.02.018]

备注/Memo

国家自然科学基金项目(51073094);辽宁省高等学校优秀人才支持计划项目(2008RC39)。

更新日期/Last Update: 2014-06-11
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